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Sensofar多功能3D光學(xué)輪廓儀Slynx2，是一款多功能、多用途的3D光學(xué)輪廓儀，用于粗糙度、體積和臨界尺寸測(cè)量。光學(xué)輪廓儀S lynx2，是將高清晰度共聚焦顯微鏡、納米級(jí)白光干涉儀和多焦面疊加三維顯示技術(shù)融合在一臺(tái)儀器中。因此具有這三種產(chǎn)品的*性：即具備高橫向分辨率的共聚焦影像效果、也具備白光干涉儀的納米級(jí)的垂直分辨率、具備多焦面疊加高達(dá)86度的傾斜角度觀察能力。

Sensofar三維3D共聚焦白光干涉輪廓儀Slynx2能夠測(cè)量不同的材質(zhì)，結(jié)構(gòu)，表面粗糙度和波度，幾乎涵蓋所有類型的表面形貌。

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