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PicoFemto掃描電鏡原位氣氛加熱環(huán)境測量

產(chǎn)品簡介

PicoFemto掃描電鏡原位氣氛加熱環(huán)境測量系統(tǒng),將MEMS氣氛環(huán)境微腔和加熱模塊集成到掃描電鏡樣品臺上,在掃描電鏡中制造可控的氣氛環(huán)境并且可以對實驗樣品原位加熱。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2025-03-24
廠商性質(zhì):代理商
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PicoFemto掃描電鏡原位氣氛加熱環(huán)境測量系統(tǒng)

PicoFemto掃描電鏡原位氣氛加熱環(huán)境測量系統(tǒng),將MEMS氣氛環(huán)境微腔和加熱模塊集成到掃描電鏡樣品臺上,在掃描電鏡中制造可控的氣氛環(huán)境并且可以對實驗樣品原位加熱。該系統(tǒng)允許研究者在氣氛環(huán)境中原位、動態(tài)、高分辨地對樣品的形貌結(jié)構(gòu)和化學組分進行綜合表征,大大拓展了掃描電鏡的功能與應用領域。該產(chǎn)品可實現(xiàn)1 Bar & 800 ℃的觀測條件,使研究者可以在掃描電鏡中實時觀測催化反應、氧化還原反應、低維材料生長/合成以及各類腐蝕反應,將您的掃描電鏡從一臺靜態(tài)成像工具升級為一套功能強大的納米實驗室。


性能指標

氣體流動指標:

● 三通道混氣;

● 氣壓范圍:0 - 1 Bar;

● 氣壓準確度:30 mBar;

● 氣體流速: 0.01 - 0.4 ml/min;

● 可通氣體:H2, N2, O2, He, Ar, CO, CO2, CxHy等;

● 軟件控制。


掃描電鏡指標:

● 兼容類型電鏡;

● 保證電鏡原有真空度;

● MEMS反應微腔指標:

● 高質(zhì)量氮化硅膜厚度30 nm;

● 樣品漂移優(yōu)于0.7 nm/min。


熱學指標:

● 溫度范圍:室溫至800 ℃;

● 溫度準確度:優(yōu)于5%;

● 溫度穩(wěn)定性:優(yōu)于±0.1 ℃;

● 四電極加熱,帶溫度反饋;

● 軟件控制。


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