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當(dāng)前位置:首頁技術(shù)文章Sensofar共聚焦白光干涉儀 | 光譜反射技術(shù)

Sensofar共聚焦白光干涉儀 | 光譜反射技術(shù)

更新時間:2024-05-23點擊次數(shù):391

Sensofar共聚焦白光干涉儀 | 光譜反射技術(shù)


光譜反射能快速、精確、無損地測量薄膜,且無需制備任何樣本。

背景

薄膜

透明層沉積在表面上時,其反射率會變化。該系統(tǒng)獲取可見范圍內(nèi)樣本的反射光譜,并與軟件計算的模擬光譜進行比較,對層厚進行修改,直到找到匹配的厚度。對于薄膜,厚度與光波長類似,我們沿著光譜獲得波浪狀的反射率響應(yīng)。

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主要特征

從 50 nm 到 1.5 μm 厚的透明薄膜可在不到 5 秒的時間內(nèi)測得

   從 50 nm 到 1.5 μm 厚的透明薄膜

   不到 5 秒內(nèi)采集

   一個物鏡可覆蓋 整個 范圍

   不同光斑大小 (3.5 μm 到 40 μm) 

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光譜反射系統(tǒng)

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